工業生產中常常會使用到超純水來對一些特定的工業產品進行清洗，比如硅晶圓、電子芯片、光纖、二極管等。這是因為超純水純度高，成分比較單一，除了氫原子和氧原子之外，幾乎不含有有機物、無機鹽、金屬離子等成分，更不含細菌和病毒等物質，因而不會對產品質量造成影響。要想獲取到質量好的超純水，就需要采用專業的工業超純水設備生產。

工業超純水設備的技術設計好、環保性能強，已經獲得了很多超純水需求企業的認可。工業超純水設備采用了“反滲透+EDI+拋光混床”技術，可使生產出的超純水水質達到18MΩ*cm（25℃）。

其中，反滲透處理模塊主要是依靠反滲透膜技術對不同分子量的物質的選擇透過性來實現超純水處理中的雜質分離去除環節。反滲透膜的孔徑很小且運行簡單，只需要在進水一側加壓驅動就可以促使過濾發生，這個過程無須熱能和催化劑，在常溫物理狀態下就能完成。經過反滲透膜的處理，離子與有機物、細菌、微生物等物質基本都能與水分子分離。

EDI模塊處理過程中安全性能高，它能使工業超純水設備的脫鹽率大幅提高，且運行中不會產生污染物和酸堿廢液，環保性能很強。拋光混床技術是工業超純水設備的末端工藝，最終確保了該設備出水達到18MΩ*cm（25℃）。

工業超純水設備采用了靶向離子交換系統，能針對超純水中難處理的硼及其他離子定向去除，還裝配了智能化程序，操作簡單靈活、自動化程度高，可以有效節約人工力量的投入。此外，該設備故障率也比較低、使用壽命比傳統設備都要長。