陜西易度智能科技有限公司
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易度智能MC100系列，是一款應用工業設備氣路系統層流質量流量控制器，其可用多種氣體。層流壓差原理使得產品具有較高的可靠性和穩定性。內置高精度的溫度和壓力傳感器，確保產品具有極低的溫漂和壓漂，長期穩定性較好，產品連續在線工作控制準確度和穩定性好。
易度智能MC100系列，是一款應用工業設備氣路系統層流質量流量控制器，其可用多種氣體，具有高精度、高重復性、快速響應、高穩定性等優勢。
特征：
l 原理：層流壓差式原理
l 便捷操作：提供上位機軟件設定流量。
l 核心優勢：單機可用多種氣體，較快的響應時間，并且可以設定后自主運行的性能
l 寬溫度、寬壓力適用范圍：-20℃~60℃、1Mpa以內
l 實時顯示5種過程變量
l 內置70多種氣體，簡單切換氣體，無需查找、輸入系數，可自主編輯混合氣體
l 無需預熱時間，開機即可使用，減少貴重氣源浪費。
產品規格：
l 產品型號：MC100
l 量程范圍：0.5sccm~5000slpm
l 閥門種類：N/C（常閉型）
性能參數：
l 精度：±1.0%S.P.(設定值)
l 重復精度：±0.2%F.S.
l 壓力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100kPaA； Span：≤±0.2%F.S./100kPaA（基準100kPaA)
l 溫度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃； Span：≤±0.02%F.S./℃（基準溫度25℃）
l 零點漂移：±0.2%F.S./年
l 工作范圍：1%~100F.S.
l 響應時間：≤700ms.
l 啟動預熱時間：1s
使用條件：
l 介質溫度：-20℃~60℃
l 環境溫度：-20℃~50℃
l 使用濕度：0%~98%（無冷凝）
l 工作壓力：0~1Mpa
l 耐壓：1.5Mpa
l 工作壓差范圍：100kPa~600kPa
l 供電電壓：24V±20%
l 消耗電流：＜500mA （＜12V）
l 安裝方式：任意角度
l 接氣部材質：SUS316L
l 進出口：管螺紋（內螺紋）
l 接氣部密封材質：橡膠圈密封：氟橡膠
通訊方式：
l 數字信號：RS485，Profibus
l 模擬信號：4-20mA，0-5V
應用場景
l 金剛石生產過程中的氣體流量控制
l CVD設備中的氣體流量控制
l 化學氣相沉積中的氣體流量控制
MC100應用工業設備氣路系統層流質量流量控制器。內置多種氣體，方便用戶使用。快速響應可迅速糾偏，抗氣源壓力波動，層流壓差原理使得產品具有較高的可靠性和穩定性。內置高精度的溫度和壓力傳感器，確保產品具有極低的溫漂和壓漂，長期穩定性較好，產品連續在線工作控制準確度和穩定性好。
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