ST-82數字式四探針測試儀
特點：
采用四探針測試技術，寶石導向軸套和高耐磨碳化鎢探針，定位準確，測量方便，精確，游移率小，壽命長，可測量片狀、塊狀等半導體材料及徑向、軸向的電阻率和擴散層的薄層電阻、方塊電阻；對薄膜等材料的電阻率也可精確測量
主要技術性能：
測量范圍：
電阻率：10-4－103Ω/cm
電阻：10－6－105Ω
方塊電阻：10－3－104Ω/□
恒流源：10μA-100mA（五檔）
精度：≤±0.5%±2個字
分辨力：0.1μV
功耗：12W（約）
外形尺寸：400*120*400mm
凈重：15千克
ST-82數字式四探針測試儀
ST-82 ：