進口美國AIRTECH真空泵
 

1958年，聯邦德國的W.貝克初次提出有適用價值的渦輪分子泵，以后相繼呈現了各種不同構造的分子泵，主要有立式和臥式兩種,圖1為立式渦輪分子泵的構造圖。渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉子(即動葉輪)、靜葉輪和驅動系統等組成。動葉輪外緣的線速度高達氣體分子熱運動的速度(普通為150～400米/秒)。單個葉輪的緊縮比很小，渦輪分子泵要由十多個動葉輪和靜葉輪組成。動葉輪和靜葉輪交替排列。動、靜葉輪幾何尺寸根本相同,但葉片傾斜角相反。圖2為20個動葉輪組成的整體式轉子。每兩個動葉輪之間裝一個靜葉輪。靜葉輪外緣用環固定并使動、靜葉輪間堅持1毫米左右的間隙,動葉輪可在靜葉輪間自在旋轉。

在運動葉片兩側的氣體分子呈漫散射。在葉輪左側，當氣體分子抵達A點左近時，在角度α1內反射的氣體分子回到左側；在角度β1內反射的氣體分子一局部回到左側，另一局部穿過葉片抵達右側；在角度γ1內反射的氣體分子將直接穿過葉片抵達右側。同理，在葉輪右側(圖3b),當氣體分子入射到B點左近時，在α2角度內反射的氣體分子將返回右側；在β2角度內反射的氣體分子一局部抵達左側，另一局部返回右側；在γ2角度內反射的氣體分子穿過葉片抵達左側。傾斜葉片的運動使氣體分子從左側穿過葉片抵達右側，比從右側穿過葉片抵達左側的幾率大得多。葉輪連續旋轉，氣體分子便不時地由左側流向右側，從而產生抽氣作用。

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UN-30V UN-30V-2 UN-30D UN-30F UN-40V UN-40V-2

UN-45VH UN-45VH-2 UN-90V UN-90V-2 UN-120V UN-120V-2

UN-180V UN-180V-2 UN-120VH UN-120VH-2 UN-180VH

UN-180VH-2 UN-200V UN-200V-2 UN-200VH UN-200VH-2

UN-400V UN-400V-2 UN-90VH-2

UN-V1 UN-V1-6 UN-1 UN-1-6 UN-2 UN-2-12

UN-V3N-6 UN-V3N-12 UN-V4 UN-V4-12 UN-V6

UN-17V UN-16V UN-18V UN-10 UN-10-2

UN-15N UN-15N-2 UN-24Z UN-25N UN-25N-2

UN-36Z UN-50D UN-50F UN-25D UN-25F

JP-40C JP-90C JP-120C JP-140C JP-180C JP-200C

DP-40V DP-90V DP-120V DP-140V DP-180V DP-200V

DV-3V DV-4V DV-5V DV-7V DV-8V DP-90V(LS)

RV-10V RV-16V RV-25V RV-40V RVX-25 RVX-40

KB-201S KB-301S KB-401S KB-501S

KB-201A KB-301A KB-401A KB-501A

KB601A-11 KB601A-21 KB801A-11 KB801A-21

HP-40V；HP-90V；HP-120V；HP-140V；HP-200V；

HP-90H；HP-120H；HP-140H；HP-200H；

HP-90C HP-120C HP-200C