深圳市中圖儀器股份有限公司
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SJ6000機床精度激光干涉測量儀可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。
中圖儀器SJ6000機床精度激光干涉測量儀利用激光干涉現象來實現非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優點。結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。
激光干涉儀利用激光光束的干涉原理來測量物體的形狀和表面的高度差異。其原理是基于兩束相干光在空間交叉的地方發生干涉，形成干涉條紋，通過測量干涉條紋的變化來推斷被測量物體的參數。
（1）可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；
（2）可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
（3）可實現對機床回轉軸的測量與校準；
（4）可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；
（5）具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；
（6）支持手動或自動進行環境補償。
SJ6000激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。
主要鏡組圖
其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。
SJ6000激光干涉儀廣泛應用于機床、三坐標、機器人、3D打印設備、自動化設備、線性位移平臺、精密機械設備、精密檢測儀器等領域的線性測量。
SJ6000機床精度激光干涉測量儀非接觸式、高精度的特點使其適用于各種復雜的運動系統，不僅僅局限于運動導軌，還可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。幫助企業提高設備性能，減少維護成本和停機時間，為制造業提供了一種精密的測量檢測方式。
| 穩頻精度 | 0.05ppm |
| 動態采集頻率 | 50 kHz |
| 預熱時間 | ≤ 6分鐘 |
| 工作溫度范圍 | (0~40)℃ |
| 存儲溫度范圍 | (-20~70)℃ |
| 環境濕度 | (0~95)%RH |
| 線性測量距離 | (0~80)m (無需遠距離線性附件) |
| 線性測量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
| 角度軸向量程 | (0~15)m |
| 角度測量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
| 平面度軸向量程 | (0~15)m |
| 平面度測量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m) |
| 直線度軸向量程 | 短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m |
| 直線度測量精度 | 短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
| 垂直度軸向量程 | 短距離(0.1～3.0)m;長距離(1.0～15.0)m |
| 垂直度測量精度 | 短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組
平行度測量配置需求：依據軸向量程范圍，選擇相應直線度鏡組即可
短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組
長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組
直線度附件：主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量
懇請注意：因市場發展和產品開發的需要，本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。
如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。
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