德國里其樂/偉力RIETSCHLE真空泵油 MULTI-LUBE100  MULTI-LUBE46  
合成油 SUPER-LUBE100 
規格1L  5L  20L 
愛發科ULVAC真空泵油  ULVoilR-7   ULVoilR-4    SMR-100
規格 1L  5L  20L 
法國阿爾卡特ALCA真空泵油   A120   A119   A200 
規格 1L  5L  20L 
貝克BECKER真空泵油  F O-100  LUBE-M100 
規格 1L  5L  20L

油擴散泵的常見故障及原因】
由于真空設備*運轉及其它一些因素的影響，擴散泵的性能可能會逐漸變壞，現將使用中經常出現的一

些問題如述如下;
1） 極限真空變低
    原因： a.系統中有滲漏；
           b.系統太臟；
           c.泵油污染；
           d.加熱功率不夠；
           e.冷卻水不足；
           f.過量或過冷的冷卻水；
           g.前級壓力高；檢查密封性能及前級管道是否有泄漏現象；
           h.快冷管內有水。
2） 抽氣較慢
    原因： a.加熱功率低；
           b.油量不足；
           c.噴帽安裝位置不當或受損。
3） 進口壓力波動
    原因： a.加熱器輸入功率不當；
           b.油脫氣；
           c.擴散泵進口前面系統有滲漏。
4） 工作腔污染大
    原因： a.前級壓力高；
           b.在高于10-1Pa壓力下*工作；
           c.系統操作有誤。
5） 返油率過大：
    原因： a. 頂噴嘴帽松動，間隙過大；
           b. 加熱功率不對