用途特點
     無油分子泵機組是由各性能分子泵、無油泵、通斷放氣閥、前級管路、斷水保護器、分子泵電源、控制電源等組裝而成的清潔超高真空獲得設(shè)備。安裝方便，操作簡單，易于連接，性能可靠。可廣泛應(yīng)用于表面分析、加速器技術(shù)、半導(dǎo)體設(shè)備，等離子技術(shù)、電真空器件的制造及真空技術(shù)各領(lǐng)域。
應(yīng)用領(lǐng)域
      分析儀器：氣相分析；電子顯微鏡；檢漏儀等。
工業(yè)應(yīng)用
      顯像管領(lǐng)域；光盤制造；鍍膜行業(yè)；電子束焊接設(shè)備；ITO生產(chǎn)線；OLED生產(chǎn)線、幕墻玻璃生產(chǎn)線；離子刻蝕；半導(dǎo)體制造工業(yè)；真空爐；真空輸送；照明燈生產(chǎn)工業(yè)；食品包裝；電真空工業(yè)等。
科研領(lǐng)域
      高能物理、表面物理、科研儀器、空間研究等真空技術(shù)領(lǐng)域。