1.是結合了光切斷的狹縫圖像觀察和點光圖像的AF(自動對焦)追蹤的新型深度高度測量機。2.通過連續追蹤AF驅動，可實現高精度重復測量，操作性好，速度快。3。由于是一邊觀察狹縫圖像映射出的臺階形狀一邊進行測量的方式，因此可以實時識別測量畫面上的高低，可以容易地判斷需要測量的部位。4.測定點處的狹縫圖像·點光像·電子線基準線的中心全部一致的測量系統，通過檢查偏差，可以防止用錯誤的數值進行測量。5.光切斷的仰角除了標準的90°外，還可以根據用途選擇導入30°60°120°。

主要規格

観察方法

光切斷方式(利用狹縫光學系統測定深度高度)

■物鏡

固定倍率10倍(5倍、20倍)

軸駆動方式

基于點光的AF連續追蹤方式(離線時可手動測量)

投射縫隙

10um半反光鏡型

Z軸測量

Z軸數字線性儀表0.1閱讀

重復精度

~1微米以內

使用光源

半導體激光器(類2)、鹵素光源

自動捕捉表示截面形狀的細狹縫光、紅色激光斑點、階梯差的變化，Z

軸功能迅速跟隨，進行測定數值的數字顯示(自動聚焦)·系統)功能

與電子線方式的基準線相結合，擴大了測量范圍，提高了利用價值，是

新型的深度高度測量機。