2022年4月，根據用戶實際項目需求，深圳市托理拆利機電設備有限公司給用戶選用了幾套愛德華（Edwards）nXDS真空泵，該真空泵應用于電子顯微鏡，為了使電子束中的電子盡量不受阻礙地移動，電子顯微鏡的真空度通常需要達到1E-7mbar量級的高真空，甚至1E-10mbar量級的超高真空；除了真空度，真空泵工作時的振動水平也非常關鍵，由于電子束的截面小，在樣品上的定位精度很高，只有處于振動水平極低的

深圳市托理拆利機電設備有限公司提供真空領域技術及產品服務的gao新ji術qi業，公司擁有合工大真空系專業背景組成的技術團隊，具備國際化視野和多年真空應用實戰經驗，在真空泵選型及真空系統設計方面有豐富的積累與創新。TORRY專注于真空檢漏、真空系統領域的技術型專業供應商，是英國Edwards愛德華真空泵shou權代理商，為科研真空設備、科學儀器真空設備、實驗室高真空設備、半導體真空設備、光伏真空設備、鋰電池真空設備、工廠高真空設備、學校高真空設備提供優化的真空解決方案。技術服務：138,237,883,80

托理拆利之Edwards愛德華真空泵nXDS10i、nXDS15i電子顯微鏡應用案例介紹

電子顯微鏡用真空泵做什么?

真空對電子顯微鏡有非常重要的作用，電子顯微鏡工作時，整個電子束路徑與待分析的樣品一起都會置于高真空的環境，如果真空度不夠高，電子槍的柵極與陽極間可能會產生極間放電進而燒斷燈絲，電子束與殘留空氣粒子發生碰撞還會導致散射，這種散射會導致電子束中的電子無法到達樣品，或者分析失真。

電子顯微鏡真空案例介紹

2022年4月，根據用戶實際項目需求，深圳市托理拆利機電設備有限公司給用戶選用了幾套愛德華（Edwards）nXDS真空泵，該真空泵應用于電子顯微鏡，為了使電子束中的電子盡量不受阻礙地移動，電子顯微鏡的真空度通常需要達到1E-7mbar量級的高真空，甚至1E-10mbar量級的超高真空；除了真空度，真空泵工作時的振動水平也非常關鍵，由于電子束的截面小，在樣品上的定位精度很高，只有處于振動水平極低的環境中，才能保持這種精度；另外，為了避免油蒸汽污染樣品或顯微鏡內部元件，愛德華（Edwards）nxds系列干泵是該工藝工作環境的理想選擇。

nXDS10i 是下一代無油的干式渦旋泵，并取代 XDS5。與傳統 XDS 泵相比，nXDS 性能更強，抽速更高，極限壓力更低，功耗更低，噪聲更小。氣鎮允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS還采用了新的端部密封，延長了端部密封更換的時間間隔。具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅動提供整體優化的泵送性能。

愛德華（Edwards）nXDS系列干式渦旋泵應用在哪些地方？

一般清潔泵送應用

電子掃描顯微鏡 - SEM

射束線和高能物理

前級渦輪泵

速離心機

覆層

低溫學

脫氣/硫化 - 油，環氧樹脂

蒸餾/萃取/過濾

冷凍干燥

熔爐

凝膠體干燥

實驗室工作臺上真空

激光、氣體回收和再循環

氦檢漏儀

負載鎖和傳輸腔

稀有氣體再循環

稀有氣體回收

冷凍制造

旋轉離心蒸發器

SEM/FIB（離子束維修）

溶劑回收

表面科學儀器

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