基于壓電陶瓷的超聲波原理，Nanomotion提供Z精密的壓電電機，和直流伺服電機類似帶有高精度，高運動性能壓電陶瓷電機

◆壓電陶瓷電機和驅動器部件

特性：

數字位置和速度閉環控制采用頻率20KHz

可通過編程實現位置控制，速度控制，手動控制，主-從控制模式；RS232通訊，支持C語言二次開發功能；直線或旋轉運動

◆沒有行程限制

◆*的運動和穩定性能

◆每步分辨率高于20nm
◆無內部磁場
◆外部磁場干擾小
◆具有適用真空環境的型號

◆壓電陶瓷電機超精密平臺

◆行程從20mm-200mm

◆定位精度1um-10nm

◆X,X-Y,X-Y-Z多軸可以根據需求組裝

◆可選真空電機

納米陶瓷電機視頻：http://v.youku.com/v_show/id_XNjUxNTMwNDI0.html