渦旋無油真空泵的發(fā)展史
渦旋無油真空泵的特點(diǎn)與應(yīng)用領(lǐng)域清潔的真空環(huán)境一直是科學(xué)家和企業(yè)界追求的理想真空環(huán)境。自能夠創(chuàng)造真空環(huán)境開始，人們就試圖采用不同手段達(dá)到清潔真空的效果。時(shí)至今日，清潔真空獲得設(shè)備已經(jīng)發(fā)展到冷凝泵、柱賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產(chǎn)品。在現(xiàn)有的無油真空泵當(dāng)中，渦旋無油真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有運(yùn)行平穩(wěn)、噪音低、節(jié)省能源、重量輕、體積小的特點(diǎn)并已經(jīng)被廣泛應(yīng)用到下述科學(xué)研究與生產(chǎn)領(lǐng)域：①半導(dǎo)體行業(yè)——薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備；②真空冶金行業(yè) ——真空爐、納米材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備；③科學(xué)儀器行業(yè)——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測(cè)試儀器；④醫(yī)療設(shè)備——牙科儀器、*；⑤生物制品行業(yè)——材料提純、藥品制備；⑥包裝行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備。
渦旋無油真空泵工作原理、技術(shù)指標(biāo)以及與普通油泵的對(duì)比
渦旋無油真空泵的渦旋盤就是一個(gè)一端與一個(gè)平面相接的一個(gè)或幾個(gè)漸開線螺旋形成一個(gè)渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)。一個(gè)靜渦旋盤與一個(gè)動(dòng)渦旋盤組成的一對(duì)渦旋盤付構(gòu)成了渦旋無油真空的基本抽氣機(jī)構(gòu)。例如在雙級(jí)渦旋無油真空泵中，有兩個(gè)方向?qū)?yīng)的固定渦旋盤，一個(gè)位于兩個(gè)渦旋盤之間的轉(zhuǎn)動(dòng)渦旋盤。動(dòng)、靜渦旋盤相對(duì)運(yùn)動(dòng)形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成排氣循環(huán)。
(來源：湖南通大長沙水泵廠)
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